技术参数
产品特点
绝对式编码，断电不丢位置。
专为真空环境设计，低放气材料，适应高真空工况。
测量长度最高 25m，精度等级 ±5 μm/m。
电子细分误差仅 ±40nm，分辨率最高 1nm。
产品应用
真空环境下的精密定位（镀膜、刻蚀设备）。
电子束、离子束加工设备的位移反馈。
航天器件真空测试台与空间模拟设备。
真空环境为什么要用专用型号
普通光栅尺进真空腔，最先出问题的不是电路而是材料：外壳、胶粘剂、润滑脂在低压下会持续放气，把腔体真空度拖下去，放出来的物质还会沉积在光学件上。低放气材料是这一款与标准型最本质的差别。
密封等级标 IP30，看起来比标准型的 IP64 低，但在真空里这是正常的：密封唇本身会放气，所以真空型不靠橡胶唇密封。看参数时不能拿 IP 等级直接对比两款的高低。
装配要在洁净环境做，手上油脂、包装残留都会带进腔体。装之前用无水乙醇擦拭，戴手套操作。
安装与除气
装好后先单独抽真空并做烘烤除气，把材料表面吸附的水汽与挥发物赶出去，再装到主腔体。省掉这一步，真空度往往要很久才能恢复。
信号线与电源线要经真空馈通（feedthrough）引出，不能把普通接插件直接塞在腔体里。线缆本身也要选低放气型号。
这款的电子细分误差是 ±40nm，精度等级 ±5μm/m，两个指标管的事不同：前者是同一点重复读的一致性，后者是全长上的位置偏差。做纳米级定位时先看细分误差，做长行程定位先看精度等级。
常见问题
绝对式真空直线光栅尺的测量原理与精度指标是什么？
分辨率 BiSS C：分辨率为50 nm、5 nm和1 nm FANUC和Mitsubishi：分辨率为50 nm和1 nm Panasonic：分辨率为100 nm、5 nm和1 nm Yaskawa：分辨率为50 nm和1 nm；工作温度 可达+75 °C。该规格适合对重复性与长期稳定性有要求的连续运行场合；具体到某台设备的精度余量，可结合行程长度与安装条件一起评估。
绝对式真空直线光栅尺主要应用在哪些场景？
真空环境下的精密定位（镀膜、刻蚀设备）。电子束、离子束加工设备的位移反馈。航天器件真空测试台与空间模拟设备。具体工况选型可与方易电气工程师沟通。
选配绝对式真空直线光栅尺时需要确认哪些工况参数？
除行程量程外，建议同时说明读数头尺寸、栅距、热膨胀系数、精度等级、光栅尺长度等几项现场条件。信息越完整，选型一次到位的把握越大，需要非标结构时也可提前说明。
